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1纳米集成电路制造工艺（第2版） 张汝京 等 编著 清华大学出版社 北京 内容简介 本书共分19章，涵盖先进集成电路工艺的发展史，集成电路制造流 程、介电薄膜、金属化、光刻、刻蚀、表面清洁与湿法刻蚀、掺杂、化 学机械平坦化，器件...
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