微制造与纳米技术
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2023-11-19 18:53:44
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文档简介：
书
国际制造业先进技术译丛
微制造与纳米技术
[印] N
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.马哈里克 （N
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k） 等著
蔡 艳 吴毅雄 冯 凯 崔海超
李 芳 聂璞林 姚成武 朱俊杰 译
机 械 工 业 出 版 社
本书主要介绍了微机电系统 （M
E
M
S）、 微光机电系统 （M
O
E
M
S）、 激光
技术在微制造中的应用、 平版印刷术、 体和表面微加工、 纳米修整、 误差补
偿、 碳纳米管、 微能源化学系统、 燃料电池、 空间推进微结构、 生物传感器
等内容。 书中用大量的数据、 公式、 图表和应用实例阐述了微制造与纳米技
术的概念、 理论、 原理、 设计思路、 工艺、 方法， 以及应用和前景等。
全书不仅具有权威性， 而且内容丰富、 理论深入浅出、 实用性强， 是广
大微制造与纳米技术领域工作者和有关院校师生比较理想的一本参考书籍。
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本书中文简体字版由 Spr
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授权机械工业出版社独家出版发行， 未
经机械工业出版社许可， 不得以任何方式复制、 传播本书的任何部分。 版
权所有， 侵权必究。
北京市版权局著作权合同登记 图字： 01-
2010-
1625号。
图书在版编目 （C
I
P
） 数据
微制造与纳米技术/
（印）马哈里克等著； 蔡艳等译.—北京： 机械工业
出版社， 2015.
6
（国际制造业先进技术译丛）
书名原文： M
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SB
N978-
7-
111-
50357-
6
Ⅰ.
①微… Ⅱ.
①马…②蔡… Ⅲ.
①纳米技术 -研究 Ⅳ.
①T
B
303
中国版本图书馆 C
I
P数据核字 （201......
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