微光学和纳米光学制造技术

国际信息工程先进技术译丛 微光学和纳米 光学制造技术 （美） Shanalyn A. Kemme 编著 周海宪 程云芳 译 周华君 程 林 校 机 械 工 业 出 版 社 本书详细介绍了微光学和纳米光学元件成功的、 最新的制造工艺， 重 点强调了关键性的专业技巧， 提供了最新的技术信息， 内容包括面浮雕衍 射光学元件、 微光学等离子体刻蚀加工技术、 使用相位光栅掩模板的模拟 光刻术、 光学器件的电子束纳米光刻制造技术、 纳米压印光刻技术和器件 应用、 平面光子晶体的设计和制造、 三维 （3D） 光子晶体的制造— — —钨 成型法。 本书参编作者都是微纳米光学制造技术领域的专家， 代表了当今微光 学加工的领先水平。 本书可供光电子领域从事光学仪器设计、 光学设计和 光机结构设计 （尤其是从事光学成像理论、 微纳米光学研究） 的工程师 使用， 也可以作为大专院校相关专业本科生、 研究生和教师的参考书。 版权声明 Microoptics and nanooptics fabrication／ Editor， Shanalyn Kemme／ ISBN： 978-0849336768 Copyright ©2010 by Taylor and Francis Group. LLC Authorized translation from English language edition published by CRC Press， part of Taylor ＆ Francis Group LLC； All rights reserved. China Machine Press is authorized to publish and distribute exclusively the Chinese （Simplified Characters） language edition. No part of the publication may be reproduced or distributed by any means， or stored in database or retrieval system， without the prior written permission of the publisher. Copies of this book sold without a Taylor ＆ Francis sticker on the cover are unauthorized and illegal. 本书封面贴有 Taylor ＆ Francis 公司防伪标签， 无 标签者不得销售。 本书中文简体翻......