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19 2 传感器 与微 系统 ( T r a n s d u c e r a nd Mi c r o s y s t e m T e c h n o l o g i e s ) 2 0 1 4年 第 3 3卷 第 1 1 期 D OI : 1 0 . 1 3 8 7 3 / J . 1 0 ...
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